JZJWLWシリーズ オイルフリー垂直真空ポンプ 高い排気速度とクリーンさ

JZJWLW シリーズ 油のない垂直真空システム 高速のポンプ速度とクリーンで油のない真空

紹介

このシステムの核心はオイルフリー 根ポンプ(機械的なブースター) と油のない乾燥ポンプ垂直 に 積み上げ られ て 収納 さ れ て いる 密集型 囲み の 中 に 置か れ て いる.この 垂直 の 設計 は 価値 ある 床 空間 を 節約 し ます.システムには,必要なすべての補助部品も含まれます.電気制御システム,気圧弁,効率的な冷却システム,サイレンサー,パイプラインなど,完全な"プラグアンドプレイ"パッケージを形成します.必要なアプリケーションのためのワンストップソリューションを提供することです.高速のポンプと,清潔で油のない真空.

利点

完全 に 油 が ない 究極 の 清潔さ: ブースターポンプとバックポンプの両方が乾燥状態で動作し,大気から高真空までのポンププロセスは完全に油のない状態で,油汚染のリスクを排除します.

高速 で 効率 的 な ポンプ: ルーツポンプは,中真空範囲で巨大なポンプ速度を提供し,ポンプダウン時間を大幅に短縮し,生産効率を大幅に向上させます.

垂直 構造 空間 節約: 革新的な垂直配置により,従来の水平システムと比較して約50%の床面積が節約され,ワークショップや研究室のスペースの利用が最適化されています.

モジュラー統合,プラグアンドプレイ: 工場を出る前に完全に統合され,稼働し,テストされます. ユーザは,電源と空気供給を接続するだけで (必要に応じて) 稼働できます.設置を簡素化し,現場作業を削減する.

賢明 な コントロール,安全 で 信頼 できる: 自動起動/停止,配列操作,故障診断,アラーム,保護 (例えば過負荷,過熱保護) のPLC制御システムで装備されています.信頼性の高い操作とシンプルな制御.

低騒音 と 振動: オープティマイズされたサイレンサー設計と安定した構造により,低作業騒音と振動レベルをもたらし,作業環境を改善します.

低 維持 費用: 油のない設計により,真空ポンプオイル,オイルフィルター等を定期的に交換し処分する必要がないため,長期的に運用・保守コストを削減できます.

申請

JZJWLWシリーズ 油のない垂直真空システム は,真空の清潔さとポンプ速度に非常に高い要求を伴う最先端の産業分野のために特別に設計されています.

• 半導体とIC製造: ウェファーの乾燥エッチング,化学蒸気堆積 (CVD),物理蒸気堆積 (PVD),イオン植入,低圧化学蒸気堆積 (LPCVD).

• 太陽光発電: 薄膜太陽電池生産ライン,PECVD,スプッター塗装プロセス

• エア・スペース・航空:宇宙環境シミュレーション室,衛星部品試験,航空機エンジン試験

• 科学研究と高級コーティング: シンクロトロン放射線光源,粒子加速器,光学コーティング (AR,MRコーティングなど),機能コーティング.

• 高級 材料 加工高品質の合金材の真空溶融とシンタリング,陶器の金属化

• 薬学とバイオエンジニアリング: 製薬の冷凍化と大規模溶媒回収は,油汚染を避ける必要があります.