Серия JZJWLW без масла вертикальный вакуумный насос высокие скорости насоса и чистый

Масло-безмасляная вертикальная вакуумная система серии JZJWLW с высокой скоростью откачки и чистым, безмасляным вакуумом

Введение

Основу этой системы составляет интеграция безмасляного насоса Рутса (механического бустера) и безмасляного сухого насоса (например, винтового насоса, кулачкового насоса или сухого лопастного насоса), вертикально расположенных в компактном корпусе. Такая вертикальная конструкция экономит ценное пространство. Система также включает в себя все необходимые вспомогательные компоненты, такие как вакуумметры, электрические системы управления, пневматические клапаны, эффективные системы охлаждения, глушители и трубопроводы, образуя полный пакет "plug-and-play". Основная философия ее конструкции заключается в предоставлении комплексного решения для применений, требующих высокой скорости откачки и чистого, безмасляного вакуума.

Преимущества

Максимальная чистота, полная безмасляность: И бустер, и форвакуумные насосы работают в сухом режиме, обеспечивая абсолютную безмасляность всего процесса откачки от атмосферы до высокого вакуума, исключая любой риск загрязнения маслом.

Высокая скорость откачки и эффективность: Насос Рутса обеспечивает огромную скорость откачки в диапазоне среднего вакуума, значительно сокращая время откачки и значительно повышая эффективность производства.

Вертикальная структура, экономия пространства: Инновационная вертикальная компоновка экономит примерно 50% площади по сравнению с традиционными горизонтальными системами, оптимизируя использование пространства в мастерской или лаборатории.

Модульная интеграция, Plug-and-Play: Полностью интегрирована, введена в эксплуатацию и протестирована перед отправкой с завода. Пользователям нужно только подключить питание и подачу воздуха (если требуется), чтобы ввести ее в эксплуатацию, упрощая установку и сокращая работу на месте.

Интеллектуальное управление, безопасность и надежность: Оснащена системой управления ПЛК для автоматического запуска/остановки, последовательной работы, диагностики неисправностей, сигнализации и защиты (например, защита от перегрузки, перегрева). Обеспечивает безопасную, надежную работу и простое управление.

Низкий уровень шума и вибрации: Оснащена оптимизированной конструкцией глушителя и стабильной структурой, что приводит к низкому уровню рабочего шума и вибрации, улучшая рабочую среду.

Низкие затраты на техническое обслуживание: Безмасляная конструкция означает отсутствие необходимости в регулярной замене и утилизации вакуумного насосного масла, масляных фильтров и т. д., что снижает долгосрочные эксплуатационные расходы и затраты на техническое обслуживание.

Применения

Масло-безмасляная вертикальная вакуумная система серии JZJWLW специально разработана для передовых промышленных областей с чрезвычайно высокими требованиями к чистоте вакуума и скорости откачки.

• Производство полупроводников и интегральных схем: Сухое травление пластин, химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ионная имплантация, химическое осаждение из паровой фазы низкого давления (LPCVD).

• Фотоэлектрические (PV) солнечные элементы: Производственные линии тонкопленочных солнечных элементов, PECVD, процессы напыления.

• Аэрокосмическая промышленность и авиация: Камеры моделирования космической среды, испытания компонентов спутников, испытания авиационных двигателей.

• Научные исследования и высококачественное покрытие: Источники синхротронного излучения, ускорители частиц, оптическое покрытие (например, AR, MR покрытие), функциональное покрытие.

• Обработка высококачественных материалов: Вакуумная плавка и спекание высококачественных сплавов, металлизация керамики.

• Фармацевтика и биоинженерия: Лиофилизация фармацевтических препаратов и крупномасштабное извлечение растворителей, где необходимо избегать загрязнения маслом.