Bơm chân không thẳng đứng không dầu dòng JZJWLW Tốc độ bơm cao và Sạch

Hệ thống chân không thẳng đứng không dầu dòng JZJWLW với tốc độ bơm cao và chân không sạch, không dầu

Giới thiệu

Cốt lõi của hệ thống này tích hợp một bơm Roots không dầu (bơm tăng áp cơ học) và một bơm khô không dầu (chẳng hạn như bơm trục vít, bơm móng vuốt hoặc bơm cánh gạt khô) được xếp chồng theo chiều dọc trong một vỏ bọc nhỏ gọn. Thiết kế theo chiều dọc này giúp tiết kiệm không gian sàn có giá trị. Hệ thống cũng bao gồm tất cả các thành phần phụ trợ cần thiết, chẳng hạn như đồng hồ đo chân không, hệ thống điều khiển điện, van khí nén, hệ thống làm mát hiệu quả, bộ giảm thanh và đường ống, tạo thành một gói "cắm và chạy" hoàn chỉnh. Triết lý thiết kế cốt lõi của nó là cung cấp một giải pháp một cửa cho các ứng dụng yêu cầu tốc độ bơm cao và chân không sạch, không dầu.

Ưu điểm

Độ sạch tối ưu, Hoàn toàn không dầu: Cả bơm tăng áp và bơm nền đều hoạt động khô, đảm bảo toàn bộ quá trình bơm từ khí quyển đến chân không cao là hoàn toàn không dầu, loại bỏ mọi rủi ro nhiễm dầu.

Tốc độ bơm và hiệu quả cao: Bơm Roots cung cấp tốc độ bơm lớn trong phạm vi chân không trung bình, giảm đáng kể thời gian bơm và cải thiện đáng kể hiệu quả sản xuất.

Cấu trúc dọc, Tiết kiệm không gian: Bố cục dọc sáng tạo giúp tiết kiệm khoảng 50% không gian sàn so với các hệ thống ngang truyền thống, tối ưu hóa việc sử dụng không gian xưởng hoặc phòng thí nghiệm.

Tích hợp mô-đun, Cắm và chạy: Tích hợp đầy đủ, được vận hành và thử nghiệm trước khi xuất xưởng. Người dùng chỉ cần kết nối nguồn điện và nguồn cung cấp khí (nếu cần) để đưa vào vận hành, đơn giản hóa việc lắp đặt và giảm công việc tại chỗ.

Điều khiển thông minh, An toàn và đáng tin cậy: Được trang bị hệ thống điều khiển PLC để tự động khởi động/dừng, vận hành theo trình tự, chẩn đoán lỗi, báo động và bảo vệ (ví dụ: bảo vệ quá tải, quá nhiệt). Đảm bảo vận hành an toàn, đáng tin cậy và điều khiển đơn giản.

Độ ồn và độ rung thấp: Có thiết kế bộ giảm thanh được tối ưu hóa và cấu trúc ổn định, dẫn đến độ ồn và độ rung vận hành thấp, cải thiện môi trường làm việc.

Chi phí bảo trì thấp: Thiết kế không dầu có nghĩa là không cần thay thế và thải bỏ dầu bơm chân không, bộ lọc dầu, v.v. thường xuyên, giảm chi phí vận hành và bảo trì dài hạn.

Ứng dụng

Hệ thống chân không thẳng đứng không dầu dòng JZJWLW được thiết kế đặc biệt cho các lĩnh vực công nghiệp tiên tiến với các yêu cầu cực kỳ cao về độ sạch chân không và tốc độ bơm.

• Sản xuất chất bán dẫn & IC: Khắc khô wafer, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi vật lý (PVD), cấy ion, lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp (LPCVD).

• Quang điện (PV) Mặt trời: Dây chuyền sản xuất pin mặt trời màng mỏng, PECVD, quy trình phun phủ.

• Hàng không vũ trụ & Hàng không: Buồng mô phỏng môi trường không gian, thử nghiệm linh kiện vệ tinh, thử nghiệm động cơ hàng không.

• Nghiên cứu khoa học & Lớp phủ cao cấp: Nguồn ánh sáng bức xạ synchrotron, máy gia tốc hạt, lớp phủ quang học (ví dụ: lớp phủ AR, MR), lớp phủ chức năng.

• Gia công vật liệu cao cấp: Nung chảy và thiêu kết chân không các hợp kim chất lượng cao, kim loại hóa gốm.

• Dược phẩm & Kỹ thuật sinh học: Đông khô dược phẩm và thu hồi dung môi quy mô lớn, nơi phải tránh ô nhiễm dầu.