オイルフリードライスクリュー真空ポンプシステム 完全に優れたエネルギー効率

ドライスクリュー真空ポンプ（システム） 完全オイルフリー 優れたエネルギー効率

はじめに

ドライスクリュー真空ポンプは、オイルフリーの容積型ポンプであり、ポンプチャンバー内で精密に加工された一対のヘリカルローター（スクリュー）が高速で反対方向に回転します。ローターは互いやポンプハウジングと接触せず、非常に狭い隙間を維持します。ローターが回転すると、ガスは入口から吸い込まれ、閉じ込められ、圧縮され、軸方向に排出口に運ばれ、それにより入口で真空が生成されます。圧縮プロセス全体で、作動流体（オイルや水など）によるシールや冷却が不要なため、清浄で汚染のないガスを排出します。

「システム」または「パッケージ」は、通常、ドライスクリュー真空ポンプをメインポンプとして、ブースターポンプ（例：ルーツポンプ）、バックポンプ（例：ロータリーベーンポンプ）、配管、バルブ、冷却システム、制御システムなどのコンポーネントと統合した完全な真空ソリューションを指します。

利点

完全オイルフリー: ポンプチャンバー内にオイルがないため、クリーンな真空環境を提供し、プロセスや製品へのオイル汚染を回避します。

低いメンテナンスコスト: 高価な真空ポンプオイルの取り扱い、交換、廃棄が不要になり、運用およびメンテナンスコストを削減します。

高い信頼性: 非接触ローター設計により、摩耗が最小限に抑えられ、長寿命を実現します。

優れたエネルギー効率: 実際のプロセス需要に応じて速度と電力を調整するために、可変周波数ドライブ（VFD）が搭載されることが多く、大幅な省エネにつながります。

強力な水蒸気処理能力: 凝縮性ガス（大量の水蒸気など）の処理に特に適しており、乳化や液体のスラッギングのリスクが少なくなります。

環境に優しい: オイルミストの排出がなく、廃油の発生もなく、厳しい環境規制に準拠しています。

幅広い動作圧力範囲: シングルステージで、大気圧から中高真空（例：1 Pa）まで幅広い排気速度曲線を実現できます。

用途

ドライスクリュー真空ポンプは、その清浄さ、効率性、信頼性から、非常にクリーンな真空環境を必要とする業界で広く使用されています。

• 半導体およびエレクトロニクス: ウェーハ製造、エッチング、CVD、PVD、イオン注入、LCD製造。

• 太陽光発電（PV）産業: 太陽電池（シリコンウェーハ）の製造プロセス（拡散、PECVDなど）。

• 化学および製薬: 蒸留、乾燥、結晶化、溶剤回収、材料移動。特に凝縮性蒸気を含むプロセスに適しています。

• 工業炉および冶金: 真空炉、焼結炉、焼鈍炉、脱ガス、製錬。

• 食品および包装: 真空包装、凍結乾燥（凍結乾燥）、抽出。

• 研究および実験: シンクロトロン放射光、粒子加速器、真空シミュレーションチャンバー、分析機器。