오일 프리 드라이 스크류 진공 펌프 시스템, 완벽한 에너지 효율

건식 스크류 진공 펌프 (시스템) 완전 오일 프리, 뛰어난 에너지 효율

소개

건식 스크류 진공 펌프는 오일이 없는 용적형 펌프로, 펌프 챔버 내에서 정밀하게 가공된 한 쌍의 헬리컬 로터(스크류)가 고속으로 반대 방향으로 회전합니다. 로터는 서로 또는 펌프 하우징과 접촉하지 않으며 매우 좁은 간격을 유지합니다. 로터가 회전함에 따라 가스는 흡입구를 통해 유입되어 포획, 압축된 후 축 방향으로 배출구로 이동하여 흡입구에서 진공을 생성합니다. 전체 압축 과정에서 오일이나 물과 같은 작동 유체에 의한 밀봉이나 냉각이 필요하지 않으므로 깨끗하고 오염되지 않은 가스를 배출합니다.

"시스템" 또는 "패키지"는 일반적으로 건식 스크류 진공 펌프를 메인 펌프로, 부스터 펌프(예: 루츠 펌프), 백킹 펌프(예: 로터리 베인 펌프), 배관, 밸브, 냉각 시스템 및 제어 시스템과 같은 구성 요소와 통합한 완전한 진공 솔루션을 의미합니다.

장점

완전 오일 프리: 펌핑 챔버에 오일이 없어 깨끗한 진공 환경을 제공하고 공정 및 제품의 오일 오염을 방지합니다.

낮은 유지 보수 비용: 고가의 진공 펌프 오일을 취급, 교체 또는 폐기할 필요가 없어 운영 및 유지 보수 비용을 절감합니다.

높은 신뢰성: 비접촉 로터 설계로 마모가 최소화되고 긴 수명을 보장합니다.

뛰어난 에너지 효율: 실제 공정 요구 사항에 따라 속도와 전력을 조정하기 위해 가변 주파수 드라이브(VFD)를 장착하는 경우가 많아 상당한 에너지 절감 효과를 얻을 수 있습니다.

강력한 수증기 처리 능력: 응축성 가스(예: 다량의 수증기) 처리에 특히 적합하며 유화 또는 액체 슬러깅의 위험이 적습니다.

친환경적: 오일 미스트 배출 및 폐유 발생이 없어 엄격한 환경 규정을 준수합니다.

광범위한 작동 압력 범위: 단일 단계에서 대기압에서 중간-고진공(예: 1 Pa)까지 넓은 펌핑 속도 곡선을 달성할 수 있습니다.

응용 분야

건식 스크류 진공 펌프는 청결성, 효율성 및 신뢰성으로 인해 매우 깨끗한 진공 환경이 필요한 산업 분야에서 널리 사용됩니다.

• 반도체 및 전자: 웨이퍼 제조, 에칭, CVD, PVD, 이온 주입, LCD 제조.

• 태양광(PV) 산업: 확산, PECVD 등 태양 전지(실리콘 웨이퍼) 생산 공정.

• 화학 및 제약: 증류, 건조, 결정화, 용매 회수, 물질 이송. 특히 응축성 증기를 포함하는 공정에 적합합니다.

• 산업용 용광로 및 야금: 진공 용광로, 소결로, 어닐링로, 탈기, 제련.

• 식품 및 포장: 진공 포장, 동결 건조(동결 건조), 추출.

• 연구 및 실험실: 싱크로트론 방사선, 입자 가속기, 진공 시뮬레이션 챔버, 분석 기기.