Ölfreies Trockenschrauben-Vakuumpumpensystem mit ausgezeichneter Energieeffizienz

Trockenlaufende Schrauben-Vakuumpumpe (System) Völlig ölfrei Ausgezeichnete Energieeffizienz

Einführung

Eine trockenlaufende Schrauben-Vakuumpumpe ist eine ölfreie Verdrängerpumpe, die ein Paar präzisionsgefertigter, schraubenförmiger Rotoren (Schrauben) verwendet, die sich mit hoher Geschwindigkeit in entgegengesetzter Richtung innerhalb der Pumpenkammer drehen. Die Rotoren berühren sich nicht gegenseitig oder das Pumpengehäuse, wodurch sehr enge Spalte eingehalten werden. Wenn sich die Rotoren drehen, wird Gas durch den Einlass angesaugt, eingeschlossen, verdichtet und dann axial zum Auslass transportiert, wodurch am Einlass ein Vakuum erzeugt wird. Da der gesamte Verdichtungsprozess keine Abdichtung oder Kühlung durch ein Arbeitsmedium (wie Öl oder Wasser) erfordert, wird sauberes, unkontaminiertes Gas abgegeben.

Ein "System" oder "Paket" bezieht sich typischerweise auf eine komplette Vakuumlösung, die die trockenlaufende Schrauben-Vakuumpumpe als Hauptpumpe mit Komponenten wie Boosterpumpen (z. B. Roots-Pumpen), Vorpumpen (z. B. Drehschieberpumpen), Rohrleitungen, Ventilen, Kühlsystemen und Steuerungssystemen integriert.

Vorteile

Völlig ölfrei: Kein Öl in der Pumpenkammer, wodurch eine saubere Vakuumumgebung geschaffen und eine Ölverunreinigung des Prozesses und des Produkts vermieden wird.

Geringe Wartungskosten: Keine Notwendigkeit, teures Vakuumpumpenöl zu handhaben, zu ersetzen oder zu entsorgen, wodurch die Betriebs- und Wartungskosten gesenkt werden.

Hohe Zuverlässigkeit: Das berührungslose Rotordesign führt zu minimalem Verschleiß und einer langen Lebensdauer.

Ausgezeichnete Energieeffizienz: Oft mit einem Frequenzumrichter (FU) ausgestattet, um die Drehzahl und Leistung an die tatsächlichen Prozessanforderungen anzupassen, was zu erheblichen Energieeinsparungen führt.

Starke Wasserdampfhandhabungsfähigkeit: Besonders geeignet für die Handhabung kondensierbarer Gase (wie große Mengen an Wasserdampf), mit geringerem Risiko von Emulsionen oder Flüssigkeitsschlägen.

Umweltfreundlich: Keine Ölaustrittsemissionen und keine Altölproduktion, wodurch strenge Umweltvorschriften eingehalten werden.

Breiter Betriebsdruckbereich: Eine einzelne Stufe kann eine breite Pumpgeschwindigkeitskurve von Atmosphäre bis zu mittlerem Hochvakuum (z. B. 1 Pa) erreichen.

Anwendungen

Trockenlaufende Schrauben-Vakuumpumpen werden aufgrund ihrer Sauberkeit, Effizienz und Zuverlässigkeit in Branchen eingesetzt, die extrem saubere Vakuumumgebungen erfordern.

• Halbleiter & Elektronik: Waferherstellung, Ätzen, CVD, PVD, Ionenimplantation, LCD-Herstellung.

• Photovoltaik (PV)-Industrie: Produktionsprozesse für Solarzellen (Siliziumwafer), wie Diffusion, PECVD.

• Chemie & Pharmazie: Destillation, Trocknung, Kristallisation, Lösungsmittelrückgewinnung, Materialtransfer. Besonders geeignet für Prozesse, die kondensierbare Dämpfe enthalten.

• Industrieöfen & Metallurgie: Vakuumöfen, Sinteröfen, Glühöfen, Entgasung, Schmelzen.

• Lebensmittel & Verpackung: Vakuumverpackung, Gefriertrocknung (Lyophilisation), Extraktion.

• Forschung & Labor: Synchrotronstrahlung, Teilchenbeschleuniger, Vakuumsimulationskammern, Analysegeräte.