コンパクトロータリーベーン真空ポンプ 最大6.7×10⁻²Pa (5×10⁻⁴Torr) までの高真空レベル

2Xシリーズロータリーベーン真空ポンプ　最大真空度6.7×10⁻² Pa (5×10⁻⁴ Torr)

I. はじめに

2Xシリーズロータリーベーン真空ポンプは、油封式機械真空ポンプであり、中国で最も一般的で古典的なロータリーベーンポンプシリーズの一つです。その作動圧力範囲は粗真空のカテゴリーに属します。「2X」は通常、「二段ロータリーベーン」を意味し、ポンプが直列に接続された2つの単段ポンプで構成されていることを意味します。これにより、単段ポンプと比較して、より高い真空度と低い極限圧力を達成できます。

その動作原理は、円筒形の固定子内に偏心して取り付けられたローターを含み、接線（線）接触を行います。2つ（またはそれ以上）のベーンがローター内のスロット内をスライドします。ローターが回転すると、遠心力とスプリングがベーンを固定子壁に押し付け、体積が周期的に変化する隔離されたチャンバーを作成し、それによって吸入、圧縮、および排気プロセスを実行します。真空ポンプオイルは、システムのシール、潤滑、および冷却の役割を果たします。

II. 利点

1. 高い真空度: 二段ポンプとして、最大で 6.7×10⁻² Pa (5×10⁻⁴ Torr)の非常に高い極限真空を達成し、液環ポンプをはるかに上回ります。安定した排気速度: 大気圧から極限真空まで、幅広い圧力範囲で安定した排気速度を維持します。

2. コンパクトな構造、小さな設置面積: ポンプ、モーター、ガスバラストバルブを1つのユニットに統合した設計により、設置が簡単です。

3. 多機能性: ほとんどのモデルには ガスバラストバルブ が装備されており、凝縮性蒸気（水蒸気など）の少量ポンプを可能にし、それらが凝縮してオイルと混ざるのを防ぎます。これにより、オイル寿命が延び、ポンプ性能が維持されます。

4. 簡単な操作とメンテナンス: 成熟したシンプルな構造で、理解と操作が簡単です。日常のメンテナンスは、真空ポンプオイルとオイルフィルターの定期的な交換が中心です。フォアライン/バックポンプモデル例

5. : 2X-4、2X-8、2X-15、2X-30、2X-70（数字は通常、公称排気速度をL/sで示します）。排気速度

: 通常、毎秒4〜150リットルの範囲です。

• 極限圧力:

• 極限分圧: ≤ 6.7×10⁻² Pa (≤ 5×10⁻⁴ Torr)

• 極限全圧: ≤ 1.3 Pa (≤ 1×10⁻² Torr) 

  • 注：全圧には、凝縮性蒸気の分圧が含まれます。モーター出力

  • : モデルに応じて、0.55 kWから11 kWの範囲です。入口ポート: 通常、KF25、KF40、またはDN50などのクイックフランジ接続を使用します。

• オイル容量: オイルリザーバー容量は、モデルに応じて数リットルから20リットル以上まで異なります。

• 標準機能: 通常、 ガスバラストバルブ が標準装備されています。

• 冷却方法: 通常、空冷です。

• IV. 適用分野 2Xシリーズロータリーベーンポンプは、粗真空および中真空を達成するための基本的な主力製品であり、多くの場合「フォアラインのバックボーン」と呼ばれ、以下に広く使用されています。フォアライン/バックポンプ: ルーツポンプ、拡散ポンプ、ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプのバックポンプとして機能します。

• 真空冶金および熱処理: 真空焼鈍、真空ろう付け、真空焼結など。

真空コーティング
: 光学コーティング、装飾コーティング、およびその他のPVD/CVDプロセスのバックポンプとして使用されます。

• 電子産業: 真空スイッチ管、電子管、および陰極線管（CRT）の排気。

• 冷凍産業: エアコンおよび冷蔵庫コンプレッサーの排気および充填。

• ランプ製造: 蛍光灯、省エネランプ、ハロゲン電球などの排気。

• 研究および研究所: 真空環境を必要とするさまざまな実験セットアップで遍在しています。

• 製薬および包装: 真空凍結乾燥（凍結乾燥）、真空包装。