ปั๊มระบายความว่างแบบหมุนสับสน ระดับระบายความว่างสูงขึ้นถึง 6.7×10−2 Pa (5×10−4 Torr)

ปั๊มสุญญากาศแบบโรตารีเวนซีรีส์ 2X ระดับสุญญากาศสูงถึง 6.7×10⁻² Pa (5×10⁻⁴ Torr)

I. บทนำ

ปั๊มสุญญากาศแบบโรตารีเวนซีรีส์ 2X เป็นปั๊มสุญญากาศเชิงกลแบบซีลน้ำมัน และเป็นหนึ่งในซีรีส์ปั๊มโรตารีเวนที่พบได้บ่อยที่สุดและคลาสสิกที่สุดในประเทศจีน ช่วงแรงดันใช้งานอยู่ในหมวดสุญญากาศหยาบ โดยทั่วไป "2X" หมายถึง "โรตารีเวนสองขั้นตอน" ซึ่งหมายความว่าปั๊มประกอบด้วยปั๊มแบบขั้นตอนเดียวสองตัวที่เชื่อมต่อกันแบบอนุกรม ทำให้สามารถบรรลุระดับสุญญากาศที่สูงขึ้นและแรงดันสุดท้ายที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับปั๊มแบบขั้นตอนเดียว

หลักการทำงานเกี่ยวข้องกับโรเตอร์ที่ติดตั้งเยื้องศูนย์ภายในสเตเตอร์ทรงกระบอก ทำให้เกิดการสัมผัสแบบสัมผัส (เส้น) ใบพัดสองใบ (หรือมากกว่า) เลื่อนในช่องภายในโรเตอร์ เมื่อโรเตอร์หมุน แรงเหวี่ยงและสปริงจะดันใบพัดเข้ากับผนังของสเตเตอร์ สร้างห้องแยกที่เปลี่ยนแปลงปริมาตรเป็นวงจร ทำให้เกิดกระบวนการดูด การบีบอัด และการระบายไอเสีย น้ำมันปั๊มสุญญากาศทำหน้าที่ในการซีล หล่อลื่น และระบายความร้อนให้กับระบบ

II. ข้อดี

1. ระดับสุญญากาศสูงขึ้น: ในฐานะที่เป็นปั๊มสองขั้นตอน ทำให้ได้สุญญากาศสูงสุดสูงถึง 6.7×10⁻² Pa (5×10⁻⁴ Torr), ซึ่งเกินกว่าปั๊มวงแหวนของเหลวมาก

2. ความเร็วในการสูบที่เสถียร: รักษาความเร็วในการสูบที่เสถียรในช่วงแรงดันที่กว้าง (ตั้งแต่บรรยากาศจนถึงสุญญากาศสูงสุด)

3. โครงสร้างกะทัดรัด รอยเท้าเล็ก: การออกแบบแบบบูรณาการรวมปั๊ม มอเตอร์ และวาล์วบัลลาสต์แก๊สไว้ในหน่วยเดียว ทำให้การติดตั้งเป็นเรื่องง่าย

4. ฟังก์ชันการทำงานที่หลากหลาย: รุ่นส่วนใหญ่ติดตั้ง วาล์วบัลลาสต์แก๊ส, ซึ่งช่วยให้สามารถสูบไอระเหยที่ควบแน่นได้ในปริมาณเล็กน้อย (เช่น ไอน้ำ) ป้องกันไม่ให้ควบแน่นและผสมกับน้ำมัน ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานของน้ำมันและรักษาประสิทธิภาพของปั๊ม

5. การใช้งานง่ายและการบำรุงรักษาง่าย: โครงสร้างที่สมบูรณ์และเรียบง่าย เข้าใจง่ายและใช้งานง่าย การบำรุงรักษาตามปกติส่วนใหญ่เกี่ยวข้องกับการเปลี่ยนน้ำมันปั๊มสุญญากาศและไส้กรองน้ำมันเป็นประจำ

III. พารามิเตอร์ทางเทคนิคที่สำคัญ

• ตัวอย่างรุ่น: 2X-4, 2X-8, 2X-15, 2X-30, 2X-70 (ตัวเลขมักจะระบุความเร็วในการสูบตามชื่อใน L/s)

• ความเร็วในการสูบ: โดยทั่วไปมีตั้งแต่ 4 ถึง 150 ลิตรต่อวินาที

• แรงดันสูงสุด:

  • แรงดันบางส่วนสูงสุด: ≤ 6.7×10⁻² Pa (≤ 5×10⁻⁴ Torr)

  • แรงดันรวมสูงสุด: ≤ 1.3 Pa (≤ 1×10⁻² Torr) หมายเหตุ: แรงดันรวมรวมถึงแรงดันบางส่วนของไอระเหยที่ควบแน่นได้

• กำลังมอเตอร์: มีตั้งแต่ 0.55 kW ถึง 11 kW ขึ้นอยู่กับรุ่น

• ช่องทางเข้า: โดยทั่วไปใช้การเชื่อมต่อแบบหน้าแปลนอย่างรวดเร็ว เช่น KF25, KF40 หรือ DN50

• ความจุของน้ำมัน: ความจุของอ่างเก็บน้ำมันแตกต่างกันไปตั้งแต่ไม่กี่ลิตรไปจนถึงมากกว่ายี่สิบลิตร ขึ้นอยู่กับรุ่น

• คุณสมบัติมาตรฐาน: โดยปกติมาพร้อมกับ วาล์วบัลลาสต์แก๊ส.

• วิธีการระบายความร้อน: โดยทั่วไประบายความร้อนด้วยอากาศ

IV. สาขาการใช้งาน
ปั๊มโรตารีเวนซีรีส์ 2X เป็นเครื่องมือพื้นฐานสำหรับการบรรลุสุญญากาศหยาบและปานกลาง ซึ่งมักเรียกว่า "กระดูกสันหลังของท่อหน้า" และใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

• การสูบน้ำ Foreline/Backing: ทำหน้าที่เป็นปั๊มสำรองสำหรับปั๊มสุญญากาศสูง เช่น ปั๊ม Roots, ปั๊มแพร่กระจาย และปั๊มเทอร์โบโมเลกุล

• โลหะวิทยาและกระบวนการอบชุบด้วยความร้อนแบบสุญญากาศ: การอบอ่อนแบบสุญญากาศ การบัดกรีแบบสุญญากาศ การเผาผนึกแบบสุญญากาศ ฯลฯ

• การเคลือบสุญญากาศ: ใช้เป็นปั๊มสำรองสำหรับการเคลือบด้วยแสง การเคลือบตกแต่ง และกระบวนการ PVD/CVD อื่นๆ

• อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์: การอพยพหลอดสวิตช์สุญญากาศ หลอดอิเล็กตรอน และหลอดรังสีแคโทด (CRT)

• อุตสาหกรรมเครื่องทำความเย็น: การอพยพและการชาร์จคอมเพรสเซอร์เครื่องปรับอากาศและตู้เย็น

• การผลิตหลอดไฟ: การระบายหลอดฟลูออเรสเซนต์ หลอดประหยัดพลังงาน หลอดฮาโลเจน ฯลฯ

• การวิจัยและห้องปฏิบัติการ: มีอยู่ทั่วไปในการตั้งค่าการทดลองต่างๆ ที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศ

• เภสัชกรรมและการบรรจุภัณฑ์: การทำแห้งแบบแช่เยือกแข็งสุญญากาศ (การทำให้แห้งแบบไลโอฟิไลเซชัน) การบรรจุภัณฑ์แบบสุญญากาศ